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根据电子无尘ysb248易胜博空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。无尘ysb248易胜博

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第2种形式的设计可以满足集成电路制造无尘ysb248易胜博大面积高等级的要求,但运行成本较高,并且洁净室风速、风量调节困难,系统升级改造困难,因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为主要的易胜博的开盘特点设计方案。

FFU循环系统的特点是:整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成,由FFU提供循环空气的动力,将新风、循环风混合后通过超过滤器送入工艺层和工艺辅助层,静压层相对于工艺层为负压。此外,还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域,包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。无尘ysb248易胜博

集成电路制造对电子无尘ysb248易胜博环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同,例如光刻要求在1级的微环境下,而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。

另外,集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求,尤其是振动的控制,在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

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