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集成电路制造是高能耗的产业,而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上,因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向。

随着集成电路制造技术的不断升级,主流大厂已经进入了纳米时代,集成电路制造洁净厂房的设计建造和节能也需要不断提升,为先进制程产品生产提供保障。食品无尘ysb248易胜博

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温湿度可以通过温湿度传感器对不符合要求的温湿度进行室外监控记录,达到及时调节的目的。

洁净区的风速、尘埃粒了数、菌落数根据空调系统操作规程,每月监测一次。

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